ČSN EN 62047-17 (35 8775) 1.9.2015 | Technická norma

ČSN EN 62047-17 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

NORMA vydána dne 1.9.2015

Informace o normě:

Jazyk
Provedení	Tištěné - 350.00 Kč
Dostupnost	SKLADEM
Cena	350.00 Kč bez DPH
350.00 Kč

Označení normy: ČSN EN 62047-17
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 98268
Datum vydání normy: 1.9.2015
Kód zboží: NS-614167
Počet stran: 36
Přibližná hmotnost: 108 g (0.24 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN

Anotace textu normy ČSN EN 62047-17 (358775):

Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm. Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko. Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály