Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.9.2015
Označení normy: ČSN EN 62047-17
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 98268
Datum vydání normy: 1.9.2015
Kód zboží: NS-614167
Počet stran: 36
Přibližná hmotnost: 108 g (0.24 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Polovodičová zařízení obecně
Elektromechanické komponenty obecně
Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm.
Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko.
Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály
NEPLATNÁ
1.9.2015
1.9.2015
1.4.2015
1.4.2015
1.4.2015
1.11.2010
Chcete pravidelně odebírat informace o nově vycházejících normách z celého světa a to zcela zdarma?
Přihlašte se k odběru. Vše je velice jednoduché a absolutně ZDARMA.
Na výběr máte vydavatele z celého světa.
Poslední aktualizace: 08.05.2025 (Počet položek: 2 198 869)
© Copyright 2025 NORMSERVIS s.r.o.