Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.9.2015
Designation standards: ČSN EN 62047-17
Classification mark: 358775
Catalog number: 98268
Publication date standards: 1.9.2015
The number of pages: 36
Approximate weight : 108 g (0.24 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm. Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko. Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály