Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.9.2015
Označení normy: ČSN EN 62047-16
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 98269
Datum vydání normy: 1.9.2015
Kód zboží: NS-614166
Počet stran: 20
Přibližná hmotnost: 60 g (0.13 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Polovodičová zařízení obecně
Elektromechanické komponenty obecně
Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu
1.12.2003
1.12.2004
1.12.2004
1.6.2004
NEPLATNÁ
1.1.2015
NEPLATNÁ
1.3.2007
Chcete pravidelně odebírat informace o nově vycházejících normách z celého světa a to zcela zdarma?
Přihlašte se k odběru. Vše je velice jednoduché a absolutně ZDARMA.
Na výběr máte vydavatele z celého světa.
Poslední aktualizace: 05.07.2025 (Počet položek: 2 207 347)
© Copyright 2025 NORMSERVIS s.r.o.