Cookies
Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.9.2015
Informace o normě:
Označení normy: ČSN EN 62047-16
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 98269
Datum vydání normy: 1.9.2015
Kód zboží: NS-614166
Počet stran: 20
Přibližná hmotnost: 60 g (0.13 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Kategorie - podobné normy:
Polovodičová zařízení obecně
Elektromechanické komponenty obecně
Anotace textu normy ČSN EN 62047-16 (358775):
Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu
Náhled normy ČSN EN 62047-16 (358775)
Podobné normy:
1.12.2003
1.12.2004
1.12.2004
1.6.2004
NEPLATNÁ
1.1.2015
NEPLATNÁ
1.3.2007
Doporučujeme:
Aktualizace zákonů
Chcete mít jistotu o platnosti užívaných předpisů?
Nabízíme Vám řešení, abyste mohli používat stále platné (aktuální) legislativní předpisy.
Chcete vědět více informací? Podívejte se na tuto stránku.
