Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
Automaticky přeložený název:
Polovodičové součástky - Micro-elektromechanické zařízení - Část 9: Wafer do plátků lepení měření síly na MEMS
NORMA vydána dne 13.7.2011
Označení normy: IEC 62047-9-ed.1.0
Datum vydání normy: 13.7.2011
Kód zboží: NS-414117
Počet stran: 49
Přibližná hmotnost: 147 g (0.32 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy IEC
IEC 62047-9:2011 describes bonding strength measurement method of wafer to wafer bonding, type of bonding process such as silicon to silicon fusion bonding, silicon to glass anodic bonding, etc., and applicable structure size during MEMS processing/assembly. The applicable wafer thickness is in the range of 10 ohmm to several millimeters. The contents of the corrigendum of March 2012 have been included in this copy. La CEI 62047-9:2011 decrit une methode de mesure de la resistance de collage de deux plaquettes, le type de processus de liaison, par exemple le collage par fusion de deux plaquettes de silicium, le collage anodique dune plaquette de silicium et dune plaquette de verre, etc., et la taille de la structure applicable pendant le traitement ou lassemblage de systemes microelectromecaniques (MEMS). Lepaisseur de plaquette applicable est dans la gamme comprise entre 10 ohmm et plusieurs millimetres. Le contenu du corrigendum de mars 2012 a ete pris en consideration dans cet exemplaire.
Corrigendum 1 - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
(Corrigendum 1 - Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 9: Mesure de la resistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS)
Oprava vydána dne 8.3.2012
Vybrané provedení:15.8.2006
26.6.2014
19.6.2014
19.6.2014
15.8.2006
21.8.2008
Poslední aktualizace: 12.09.2024 (Počet položek: 2 346 316)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.