Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
Automaticky přeložený název:
Polovodičové součástky - Micro-elektromechanické zařízení - Část 2: Zkouška tahem metodou tenkovrstvé materiály
NORMA vydána dne 15.8.2006
Označení normy: IEC 62047-2-ed.1.0
Datum vydání normy: 15.8.2006
Kód zboží: NS-414105
Počet stran: 25
Přibližná hmotnost: 75 g (0.17 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy IEC
Specifies the method for tensile testing of thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 m, which are main structural materials for micro-electromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices. The main structural materials for MEMS, micromachines and similar devices have special features such as typical dimensions in the order of a few microns, a material fabrication by deposition, and a test piece fabrication by non-mechanical machining using etching and photolithography. This International Standard specifies the testing method, which enables a guarantee of accuracy corresponding to the special features. Cette norme internationale specifie la methode pour les essais de traction des materiaux en couche mince d fune longueur et d fune largeur inferieure a 1 mm et d fune epaisseur inferieure a 10 Em, qui sont des materiaux structurels principaux pour les systemes microelectromecaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues. Les materiaux structurels principaux pour les MEMS, les micromachines et autres dispositifs analogues comportent des caracteristiques speciales telles que des dimensions typiques de l fordre de quelques microns, une fabrication de materiau par depot, et une fabrication d feprouvettes d fessai par usinage non mecanique au moyen de la gravure et de la photolithographie. Cette norme internationale specifie la methode d fessai qui garantit une precision correspondant aux caracteristiques speciales.
7.4.2009
25.5.2011
6.8.2010
8.8.2012
29.8.2006
28.8.2006
Poslední aktualizace: 12.09.2024 (Počet položek: 2 346 316)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.