ČSN EN 62047-8 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).



NORMA vydána dne 1.12.2011


Jazyk
Provedení
DostupnostSKLADEM
Cena306.90 bez DPH
306.90

Informace o normě:

Označení normy: ČSN EN 62047-8
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 89570
Datum vydání normy: 1.12.2011
Kód zboží: NS-161591
Počet stran: 28
Přibližná hmotnost: 84 g (0.19 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN

Kategorie - podobné normy:

Ostatní polovodičová zařízení

Anotace textu normy ČSN EN 62047-8 (358775):

Tato norma definuje zkušební metodu ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. Vyznačuje se vysokou přesností, opakovatelností a přiměřenou snahou, aby zkouška byla srovnatelná s konvenční zkouškou. Tato zkušební metoda je platná pro zkoušené vzorky s tloušťkou mezi 50 nm až několika µm a s ohledem na poměr délky a tloušťky větší jak 300. Proužek (nebo můstek), který je zavěšený mezi dvěma upevněnými podložkami je součástí MEMS, nebo mikrostroje. To umožňuje snadnější výrobu mikroproužku, než vzorků pro normalizovanou zkoušku. Zkušební postupy jsou tak jednoduché, že se dají snadno automatizovat. Tato norma může sloužit pro určování kvality při MEMS ve výrobě, protože průchodnost zkoušky je ve srovnání s klasickou zkouškou vysoká

Doporučujeme:


Tento web používá soubory cookie. Dalším procházením tohoto webu vyjadřujete souhlas s jejich používáním. Více informací / Rozumím