NORMSERVIS s.r.o.

ČSN EN 62047-8 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

NORMA vydána dne 1.12.2011

Anglicky (v českém jazyce pouze titulní strana) -
Tištěné (338.00 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: ČSN EN 62047-8
Classification mark: 358775
Catalog number: 89570
Publication date standards: 1.12.2011
The number of pages: 28
Approximate weight : 84 g (0.19 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technické normy ČSN

Annotation of standard text ČSN EN 62047-8 (358775):

Tato norma definuje zkušební metodu ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. Vyznačuje se vysokou přesností, opakovatelností a přiměřenou snahou, aby zkouška byla srovnatelná s konvenční zkouškou. Tato zkušební metoda je platná pro zkoušené vzorky s tloušťkou mezi 50 nm až několika µm a s ohledem na poměr délky a tloušťky větší jak 300. Proužek (nebo můstek), který je zavěšený mezi dvěma upevněnými podložkami je součástí MEMS, nebo mikrostroje. To umožňuje snadnější výrobu mikroproužku, než vzorků pro normalizovanou zkoušku. Zkušební postupy jsou tak jednoduché, že se dají snadno automatizovat. Tato norma může sloužit pro určování kvality při MEMS ve výrobě, protože průchodnost zkoušky je ve srovnání s klasickou zkouškou vysoká