Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Standard Test Method for Bow of Silicon Wafers (Withdrawn 2003) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).
Automaticky přeložený název:
Standardní zkušební metoda pro Bow křemíkových desek (Withdrawn 2003 )
NORMA vydána dne 10.12.2002
Označení normy: ASTM F534-02a
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Kód zboží: NS-55633
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
bow, silicon, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)
1. Scope |
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 2003 1.1 This test method covers determination of the average amount of bow of nominally circular silicon wafers, polished or unpolished, in the free (non-clamped) condition. 1.2 This test method is intended primarily for use with wafers that meet the dimension and tolerance requirements of SEMI Specifications M1. 1.3 This test method can also be applied to circular wafers of other semiconducting materials, such as gallium arsenide, or electronic substrate materials, such as sapphire or gadolinium gallium garnet, that have a diameter of 25 mm or greater, a thickness of 0.18 mm or greater, and a ratio of diameter to thickness up to 250. Wafers to be tested may have one or more fiducial flats provided they are located in such a way that the slice can be centered on the support pedestals (see 7.1.2) without falling off. 1.4 The values stated in inch-pound units are to be regarded as the standard. The values given in parentheses are for information only. 1.5 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
Poskytování aktuálních informací o legislativních předpisech vyhlášených ve Sbírce zákonů od roku 1945.
Aktualizace 2x v měsíci !
Chcete vědět více informací? Podívejte se na tuto stránku.
Poslední aktualizace: 29.04.2024 (Počet položek: 2 896 215)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.