Cookies
Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
ASTM F1261M-96(2003)
Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric] (Withdrawn 2009)
Automaticky přeložený název:
Standardní zkušební metoda pro stanovení průměrné elektrické šířkuStraight , Thin -Film Metal Line [ Metric ] (Withdrawn 2009 )
NORMA vydána dne 10.6.1996
Informace o normě:
Označení normy: ASTM F1261M-96(2003)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.1996
Kód zboží: NS-49667
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Anotace textu normy ASTM F1261M-96(2003) :
Keywords:
aluminum, electrical interconnect, electrical linewidth, linewidth, metallization, semiconductor, test structure, thin film
Doplňující informace
| 1. Scope | ||||
|
1.1 This test method is designed for determining the average electrical width of a narrow thin-film metallization line. 1.2 This test method is intended for measuring thin metallization lines such as are used in microelectronic circuits where the width of the lines may range from micrometres to tenths of micrometres. 1.3 The test structure used in this test method may be measured while still part of a wafer, or part therefrom, or as part of a test chip bonded to a package and electrically accessible by means of package terminals. 1.4 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
||||
| 2. Referenced Documents | ||||
|
Doporučujeme:
