Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric] (Withdrawn 2009)
NORMA vydána dne 10.6.1996
Označení normy: ASTM F1261M-96(2003)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.1996
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
aluminum, electrical interconnect, electrical linewidth, linewidth, metallization, semiconductor, test structure, thin film