Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric]
Automaticky přeložený název:
Standardní zkušební metoda pro stanovení průměrné elektrické šířku Rovný , tenkovrstvé Metal Line [ Metric ]
NORMA vydána dne 1.1.1996
Označení normy: ASTM F1261M-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1996
Kód zboží: NS-49668
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
aluminum, electrical interconnect, electrical linewidth, linewidth, metallization, semiconductor, test structure, thin film, ICS Number Code 31.080.01 (Semi-conductor devices in general)
1. Scope | ||||
1.1 This test method is designed for determining the average electrical width of a narrow thin-film metallization line. 1.2 This test method is intended for measuring thin metallization lines such as are used in microelectronic circuits where the width of the lines may range from micrometres to tenths of micrometres. 1.3 The test structure used in this test method may be measured while still part of a wafer, or part therefrom, or as part of a test chip bonded to a package and electrically accessible by means of package terminals. 1.4 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
||||
2. Referenced Documents | ||||
|
Chcete mít jistotu, že používáte pouze platné technické normy?
Nabízíme Vám řešení, které Vám zajistí měsíční přehled o aktuálnosti norem, které používáte.
Chcete vědět více informací? Podívejte se na tuto stránku.
Poslední aktualizace: 03.05.2024 (Počet položek: 2 896 946)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.