ASTM F1261M-96

Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric]

NORMA vydána dne 1.1.1996

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1504.20 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1261M-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1996
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1261M-96 :

Keywords:
aluminum, electrical interconnect, electrical linewidth, linewidth, metallization, semiconductor, test structure, thin film, ICS Number Code 31.080.01 (Semi-conductor devices in general)