Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Standard Guide for Design of Flat, Straight-Line Test Structures for Detecting Metallization Open-Circuit or Resistance-Increase Failure Due to Electromigration [Metric]
Automaticky přeložený název:
Standardní Příručka pro Design Flat , přímkových Zkušební konstrukce pro detekci pokovování naprázdno nebo Resistance - Zvýšení selhání kvůli Electromigration [ Metric ]
NORMA vydána dne 1.1.1996
Označení normy: ASTM F1259M-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1996
Kód zboží: NS-49662
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
design guideline, electromigration, electromigration failure, interconnect metallization, metallization open circuit, metallization resistance, microelectronic, test structure, ICS Number Code 17.220.20 (Measurement of electrical and magnetic quantities), 31.200 (Integrated circuits. Microelectronics)
1. Scope | ||||
1.1 This guide covers recommended design features for test structures used in accelerated stress tests, as described in Test Method F 1260, to characterize the failure distribution of interconnect metallizations that fail due to electromigration. 1.2 The guide is restricted to structures with a straight test line on a flat surface that are used to detect failures due to an open-circuit or a percent-increase in resistance of the test line. 1.3 This guide is not intended for testing metal lines whose widths are approximately equal to or less than the estimated mean size of the metal grains in the metallization line. 1.4 This guide is not intended for test structures used to detect random defects in a metallization line. 1.5 Metallizations tested and characterized are those that are used in microelectronic circuits and devices. |
||||
2. Referenced Documents | ||||
|
Poslední aktualizace: 17.05.2024 (Počet položek: 2 902 148)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.