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ÖNORM EN ISO 23216
Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektrokopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)
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NORMA vydána dne 15.2.2023
Informace o normě:
Označení normy: ÖNORM EN ISO 23216
Datum vydání normy: 15.2.2023
Kód zboží: NS-1103460
Počet stran: 14
Přibližná hmotnost: 42 g (0.09 liber)
Země: Rakouská technická norma
Kategorie: Technické normy ÖNORM
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Anotace textu normy ÖNORM EN ISO 23216 :
Dieses Dokument legt die spektroskopische Ellipsometrie für die Bestimmung der optischen Eigenschaften (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) und die optische Klassifizierung verschiedener Typen von amorphen Kohlenstoffschichten innerhalb der n-k-Ebene fest. Es ist auf amorphe Kohlenstoffschichten anwendbar, die durch ionisiertes Verdampfen, Sputtern, Lichtbogenabscheidung, plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, Heißdrahtverfahren und andere Verfahren abgeschieden wurden. Es ist nicht anwendbar für Kohlenstoffschichten, die mit Metallen oder Silizium verändert worden sind, für amorphe Kohlenstoffschichten, die einen Gradienten ihrer Zusammensetzung/Eigenschaft in der Schichtdicke aufweisen, und für Farben und Lacke.
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