Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Automaticky přeložený název:
Povrchová chemická analýza - mikroskopie skenovací sondou - Normy týkající se vymezení a kalibraci prostorovým rozlišením elektrických mikroskopů rastrovací sondou ( ESPMs ), jako SSRM a SCM pro 2D - příměsi zobrazování a jiné účely
NORMA vydána dne 20.8.2015
Označení normy: ISO 13083:2015
Datum vydání normy: 20.8.2015
Kód zboží: NS-613938
Počet stran: 14
Přibližná hmotnost: 42 g (0.09 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy ISO
Description / Abstract: ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.
Chcete mít jistotu, že používáte pouze platné technické normy?
Nabízíme Vám řešení, které Vám zajistí měsíční přehled o aktuálnosti norem, které používáte.
Chcete vědět více informací? Podívejte se na tuto stránku.
Poslední aktualizace: 25.01.2026 (Počet položek: 2 257 482)
© Copyright 2026 NORMSERVIS s.r.o.