Cookies
Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
IEC 62047-49-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 49: Temperature and humidity test methods for piezoelectric MEMS cantilevers
Přeložit název
NORMA vydána dne 25.11.2025
Informace o normě:
Označení normy: IEC 62047-49-ed.1.0
Datum vydání normy: 25.11.2025
Kód zboží: NS-1249233
Počet stran: 8
Přibližná hmotnost: 24 g (0.05 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy IEC
Kategorie - podobné normy:
Anotace textu normy IEC 62047-49-ed.1.0 :
IEC 62047-49:2025 specifies reliability test methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric thin film on microcantilever, which is typical structure of micro sensors and micro actuators. In order to estimate the stability of the piezoelectric coefficient of the piezoelectric thin films with microscale structures in the operating conditions, this document reports the schema to determine the characteristic parameters for consumer, industry or any other applications of piezoelectric MEMS devices. This document applies to piezoelectric thin films on microcantilever fabricated by MEMS process.
Doporučujeme:
