Cookies
Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
IEC 62047-45-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 45: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of impact resistance of nanostructures
Přeložit název
NORMA vydána dne 20.3.2025
Informace o normě:
Označení normy: IEC 62047-45-ed.1.0
Datum vydání normy: 20.3.2025
Kód zboží: NS-1216486
Počet stran: 15
Přibližná hmotnost: 45 g (0.10 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy IEC
Kategorie - podobné normy:
Anotace textu normy IEC 62047-45-ed.1.0 :
IEC 62047-45:2025 specifies the requirements and testing method to measure the impact resistance of nanostructures which are fabricated by micromachining technology used in silicon-based micro-electromechanical system (MEMS). This document is applicable to the in-situ impact resistance measurement of nanostructures manufactured by microelectronic technology process and other micromachining technology. In the production of MEMS devices, due to the micro/nano size, the non-ideal effect of fabrication is greatly amplified compared with the macroscale. Surface defects, line width loss, and residual stress can occur in the fabricated object, resulting in severe fluctuations in the mechanical strength of MEMS devices. This document specifies an in-situ measurement method for the impact resistance of nanostructures based on MEMS technology to extract the impact strength of actual manufactured structures. This test method does not need intricated instruments (such as scanning probe microscopy and nanoindenter) and special test specimens. Since the in-situ on-chip tester in this document can be implanted in device fabrication as a standard detection pattern, this document can provide a bridge, by which the fabrication part can give some quantitative reference for the design part.
Odebírejte informace o nově vydaných normách ZDARMA:
Chcete pravidelně odebírat informace o nově vycházejících normách z celého světa a to zcela zdarma?
Přihlašte se k odběru. Vše je velice jednoduché a absolutně ZDARMA.
Na výběr máte vydavatele z celého světa.
