Cookies
Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
IEC 62047-31-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 31: Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials
Přeložit název
NORMA vydána dne 5.4.2019
Informace o normě:
Označení normy: IEC 62047-31-ed.1.0
Datum vydání normy: 5.4.2019
Kód zboží: NS-945686
Počet stran: 12
Přibližná hmotnost: 36 g (0.08 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy IEC
Kategorie - podobné normy:
Anotace textu normy IEC 62047-31-ed.1.0 :
IEC 62047-31:2019 (E) specifies a four-point bending test method for measuring interfacial adhesion energy of the weakest interface in the layered micro-electromechanical systems (MEMS) based on the concept of fracture mechanics. In a variety of MEMS devices, there are many layered material interfaces, and their adhesion energies are critical to the reliability of the MEMS devices. The four-point bending test utilizes a pure bending moment applied to a test piece of layered MEMS device, and the interfacial adhesion energy is measured from the critical bending moment for the steady state cracking in the weakest interface. This test method applies to MEMS devices with thin film layers deposited on semiconductor substrates. The total thickness of the thin film layers should be 100 times less than the thickness of a supporting substrate (typically a silicon wafer piece).
Odebírejte informace o nově vydaných normách ZDARMA:
Chcete pravidelně odebírat informace o nově vycházejících normách z celého světa a to zcela zdarma?
Přihlašte se k odběru. Vše je velice jednoduché a absolutně ZDARMA.
Na výběr máte vydavatele z celého světa.
