Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Standard Test Method for Measuring the Depth of Crystal Damage of a Mechanically Worked Silicon Slice Surface by Angle Polishing and Defect Etching (Withdrawn 2003)
Automaticky přeložený název:
Standardní zkušební metoda pro měření hloubky Crystal Poškození jednoho mechanicky opracované Silicon Slice povrchu Angle leštění a defektů leptání (Withdrawn 2003 )
NORMA vydána dne 10.12.2002
Označení normy: ASTM F950-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Kód zboží: NS-57040
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
bevel polish, damage-depth, defect, preferential etch, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)
1. Scope |
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 2003 1.1 This test method describes a technique to measure the depth of damage, on or beneath the surface of silicon wafers prior to any heat treatment of the wafer. Such damage results from mechanical surface treatments such as sawing, lapping, grinding, sandblasting, and shot peening. 1.2 The principal application of this test method is for determining the depth of damage of the non-polished back surface that has had intentionally added work damage. 1.3 The measurement is destructive since a specimen is prepared from a section of a silicon wafer. 1.4 Depth of damage can be measured in the range of 5.0 to 200 m using this method. 1.5 This test method is intended for use in process control where each individual location is resposible to determine the internal repeatability to its satisfaction. 1.6 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. Specific warnings and hazard statements are given in and Section 9. |
Chcete mít jistotu, že používáte pouze platné technické normy?
Nabízíme Vám řešení, které Vám zajistí měsíční přehled o aktuálnosti norem, které používáte.
Chcete vědět více informací? Podívejte se na tuto stránku.
Poslední aktualizace: 23.12.2024 (Počet položek: 2 217 157)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.