Pozor!

Ve Vašem prohlížeči není aktuálně povoleno spouštění Javascriptu. Je možné, že některé funkce nebudou fungovat správně. Pro plnou funkčnost internetového obchodu doporučujeme povolit Javascript. Zde jsou instrukce jak povolit JavaScript ve Vašem webovém prohlížeči.

Zobrazovaná měna: Kč

Zobrazení ceny: bez DPH

Doplňující informace

ASTM F3192-16

Standard Specification for High-Purity Copper Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Mettalization (Withdrawn 2023)

Přeložit název

NORMA vydána dne 1.9.2016

Jazyk
Provedení	Elektronické PDF - 1 778.60 Kč Tištěné - 1 778.60 Kč
Dostupnost	SKLADEM
Cena	1 778.60 Kč bez DPH
1 778.60 Kč

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F3192-16
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.9.2016
Kód zboží: NS-666127
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Tisk

Odeslat známému

Dotaz

Kategorie - podobné normy:

Kovové povlaky

Anotace textu normy ASTM F3192-16 :

Keywords:
high-purity copper, sputtering target, TSV metallization,, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)

Doplňující informace

1. Scope

1.1 This specification details the generic criteria requirements of high pure copper sputtering targets used as thin film material for through-silicon vias (TSV) metallization in advanced packaging.

1.2 Sputtering target purity, grain size, inner quality, bonding, dimension, and appearance specifications are included in this specification along with references for qualification test methods. Reliability, certification, traceability, and packaging requirements are also included.

1.2.1 Purity Requirements:

1.2.1.1 Metallic element impurities, and

1.2.1.2 Non-metallic element impurities.

1.2.2 Grain Size Requirements—Grain size.

1.2.3 Inner Quality Requirements—Internal defect.

1.2.4 Bonding Requirements:

1.2.4.1 Backing plate, and

1.2.4.2 Bonding ratio.

1.2.5 Configuration Requirements:

1.2.5.1 Dimension,

1.2.5.2 Tolerance, and

1.2.5.3 Surface roughness.

1.2.6 Appearance Requirements—Surface cleanness.

1.3 The values stated in SI units are to be regarded as standard. No other units of measurement are included in this standard.

1.4 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use.

2. Referenced Documents






	Dimensioning and Tolerancing Available from American Society of Mechanical Engineers (ASME), ASME International Headquarters, Two Park Ave., New York, NY 10016-5990, http://www.asme.org.

Doporučujeme:

EviZak - všechny zákony včetně jejich evidence na jednom místě

Poskytování aktuálních informací o legislativních předpisech vyhlášených ve Sbírce zákonů od roku 1945.
Aktualizace 2x v měsíci !

Chcete vědět více informací? Podívejte se na tuto stránku.

Zde máte možnost přizpůsobit si nastavení souborů cookies v souladu s vlastními preferencemi.

Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů.