Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Guide for Design of Flat, Straight-Line Test Structures for Detecting Metallization Open-Circuit or Resistance-Increase Failure Due to Electromigration
Automaticky přeložený název:
Příručka pro Design Flat , přímkových Zkušební Structures pro detekci pokovování naprázdno nebo Resistance - Zvýšit selhání při Electromigration
NORMA vydána dne 1.1.1989
Označení normy: ASTM F1259-89
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1989
Kód zboží: NS-49660
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
Accelerated aging/testing-semiconductors, Defects-semiconductors, Electrical conductors-semiconductors, Electromigration, Failure end point-electronic components/devices, Metallization, Microelectronic device processing, Resistance-failure, Silicon-semiconductor applications, Straight-line testing, Test structures, Time to failure, Voltage, design of flat straight-line test structures (for detecting, metallization open-circuit/resistance to increase failure due to, electromigration), guide
1. Scope |
1.1 This guide covers recommended design features for test structures used in accelerated stress tests, as described in Test Method F1260, to characterize the failure distribution of interconnect metallizations that fail due to electromigration. 1.2 The guide is restricted to structures with a straight test line on a flat surface that are used to detect failures due to an open-circuit or a percent-increase in resistance of the test line. 1.3 This guide is not intended for test structures used to detect random defects in a metallization line. 1.4 Metallizations tested and characterized are those that are used in microelectronic circuits and devices. |
Chcete mít jistotu o platnosti užívaných předpisů?
Nabízíme Vám řešení, abyste mohli používat stále platné (aktuální) legislativní předpisy.
Chcete vědět více informací? Podívejte se na tuto stránku.
Poslední aktualizace: 17.05.2024 (Počet položek: 2 902 148)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.