Cookies
Potřebujeme váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se vám mimo jiné mohly ukazovat informace týkající se vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
ASTM D5127-07
Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
Automaticky přeložený název:
Standardní příručka pro Ultra - čistá voda Používá se v elektronice a polovodičové průmysly
NORMA vydána dne 15.4.2007
Informace o normě:
Označení normy: ASTM D5127-07
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 15.4.2007
Kód zboží: NS-29932
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Anotace textu normy ASTM D5127-07 :
Keywords:
electronic, microelectronics, semiconductor, ultra-pure water, ICS Number Code 13.060.25 (Water for industrial use), 71.100.99 (Other products of the chemical industry)
Doplňující informace
| 1. Scope | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
1.1 This guide provides recommendations for water quality related to electronics and semiconductor-industry manufacturing. Six classifications of water are described, including water for line widths as low as 0.09 micron. In all cases, the recommendations are for water at the point of distribution (POD). 1.2 Water is used for washing and rinsing of semiconductor components during manufacture. Water is also used for cleaning and etching operations, making steam for oxidation of silicon surfaces, preparing photomasks, and depositing luminescent materials. Other applications are in the development and fabrication of solid-state devices, thin-film devices, communication lasers, light-emitting diodes, photo-detectors, printed circuits, memory devices, vacuum-tube devices, or electrolytic devices. 1.3 Users needing water qualities different from those described here should consult other water standards, such as Specification D 1193 and Guide D 5196. 1.4 This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2. Referenced Documents | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
Doporučujeme:
Aktualizace technických norem
Chcete mít jistotu, že používáte pouze platné technické normy?
Nabízíme Vám řešení, které Vám zajistí měsíční přehled o aktuálnosti norem, které používáte.
Chcete vědět více informací? Podívejte se na tuto stránku.
