Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
NORMA vydána dne 4.5.2022
Označení normy: ISO 14644-10:2022-ed.2.0
Datum vydání normy: 4.5.2022
Počet stran: 31
Přibližná hmotnost: 93 g (0.21 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy ISO