
Surface chemical analysis — Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
NORMA vydána dne 24.9.2009
Označení normy: ISO/TR 16268:2009
Datum vydání normy: 24.9.2009
Počet stran: 19
Přibližná hmotnost: 57 g (0.13 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy ISO