
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
NORMA vydána dne 14.8.2020
Označení normy: ISO 16413:2020-ed.2.0
Datum vydání normy: 14.8.2020
Počet stran: 32
Přibližná hmotnost: 96 g (0.21 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy ISO