ISO 14706:2014-ed.2.0

Surface chemical analysis — Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

NORMA vydána dne 25.7.2014

Anglicky -
Elektronické PDF (4135.50 CZK)
Anglicky -
Tištěné (4135.50 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ISO 14706:2014-ed.2.0
Datum vydání normy: 25.7.2014
Počet stran: 25
Přibližná hmotnost: 75 g (0.17 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy ISO