
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration
NORMA vydána dne 9.5.2022
Označení normy: ISO 14644-9:2022-ed.2.0
Datum vydání normy: 9.5.2022
Počet stran: 26
Přibližná hmotnost: 78 g (0.17 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy ISO