
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration
NORMA vydána dne 25.2.2026
Označení normy: ISO 14644-13:2026-ed.2.0
Datum vydání normy: 25.2.2026
Počet stran: 32
Přibližná hmotnost: 96 g (0.21 liber)
Země: Mezinárodní technická norma
Kategorie: Technické normy ISO