Determination of geometrical quantities by using of scanning probe microscopes - Calibration of measurement systems.
NORMA vydána dne 1.9.2019
Označení normy: VDI/VDE 2656Blatt1
Datum vydání normy: 1.9.2019
Počet stran: 81
Přibližná hmotnost: 274 g (0.60 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy VDI
Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen.