Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement.
NORMA vydána dne 1.2.2020
Označení normy: VDI/VDE 2655Blatt1.3
Datum vydání normy: 1.2.2020
Počet stran: 50
Přibližná hmotnost: 150 g (0.33 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy VDI
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung.