Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing (IEC 62047-3:2006) (Endorsed by AENOR in January of 2007.)
NORMA vydána dne 1.1.2007
Označení normy: UNE-EN 62047-3:2006
Datum vydání normy: 1.1.2007
Počet stran: 12
Přibližná hmotnost: 36 g (0.08 liber)
Země: Španělská technická norma
Kategorie: Technické normy UNE