Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials (Endorsed by AENOR in November of 2014.)<
NORMA vydána dne 1.11.2014
Označení normy: UNE-EN 62047-21:2014
Datum vydání normy: 1.11.2014
Počet stran: 17
Přibližná hmotnost: 51 g (0.11 liber)
Země: Španělská technická norma
Kategorie: Technické normy UNE