Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)
NORMA vydána dne 1.8.2015
Označení normy: UNE-EN 62047-16:2015
Datum vydání normy: 1.8.2015
Počet stran: 15
Přibližná hmotnost: 45 g (0.10 liber)
Země: Španělská technická norma
Kategorie: Technické normy UNE