
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (Endorsed by AENOR in June of 2012.)
NORMA vydána dne 1.6.2012
Označení normy: UNE-EN 62047-14:2012
Datum vydání normy: 1.6.2012
Počet stran: 21
Přibližná hmotnost: 63 g (0.14 liber)
Země: Španělská technická norma
Kategorie: Technické normy UNE