Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 26: Opis a metódy merania mikrodrážkových a ihlicových štruktúr (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.10.2016
Designation standards: STN EN 62047-26
Classification mark: 358792
Catalog number: 123439
Publication date standards: 1.10.2016
Approximate weight : 36 g (0.08 lbs)
Country: Slovak technical standard
Kategorie: Technické normy STN