Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 25: Výrobná technológia silikónových MEMS materiálov. Metódy merania ťažnej a tlakovej pevnosti a pevnosti v strihu spájaných mikroplôch (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.4.2017
Designation standards: STN EN 62047-25
Classification mark: 358792
Catalog number: 124508
Publication date standards: 1.4.2017
Approximate weight : 30 g (0.07 lbs)
Country: Slovak technical standard
Kategorie: Technické normy STN