Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 21: Skúšobná metóda na stanovenie Poissonovho čísla tenkovrstvých materiálov MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.2.2015
Designation standards: STN EN 62047-21
Classification mark: 358792
Catalog number: 120055
Publication date standards: 1.2.2015
Approximate weight : 30 g (0.07 lbs)
Country: Slovak technical standard
Kategorie: Technické normy STN