Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 17: Meranie mechanických vlastností tenkých vrstiev skúšobnou metódou vydutím (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.12.2015
Designation standards: STN EN 62047-17
Classification mark: 358792
Catalog number: 121889
Publication date standards: 1.12.2015
Approximate weight : 51 g (0.11 lbs)
Country: Slovak technical standard
Kategorie: Technické normy STN