Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 25: Výrobná technológia silikónových MEMS materiálov. Metódy merania ťažnej a tlakovej pevnosti a pevnosti v strihu spájaných mikroplôch (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.4.2017
Označení normy: STN EN 62047-25
Třídící znak: 358792
Katalogové číslo: 124508
Datum vydání normy: 1.4.2017
Přibližná hmotnost: 30 g (0.07 liber)
Země: Slovenská technická norma
Kategorie: Technické normy STN