Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 21: Skúšobná metóda na stanovenie Poissonovho čísla tenkovrstvých materiálov MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.2.2015
Označení normy: STN EN 62047-21
Třídící znak: 358792
Katalogové číslo: 120055
Datum vydání normy: 1.2.2015
Přibližná hmotnost: 30 g (0.07 liber)
Země: Slovenská technická norma
Kategorie: Technické normy STN