Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 16: Skúšobné metódy na stanovenie zvyškového napätia vrstiev MEMS; zakrivenie vrstiev a metódy ohybu na konzolovom nosníkuen (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.12.2015
Označení normy: STN EN 62047-16
Třídící znak: 358792
Katalogové číslo: 121888
Datum vydání normy: 1.12.2015
Přibližná hmotnost: 30 g (0.07 liber)
Země: Slovenská technická norma
Kategorie: Technické normy STN