Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 13: Typy skúšobných metód ohybom a strihom na merania adhéznych síl pri štruktúrach MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.8.2012
Označení normy: STN EN 62047-13
Třídící znak: 358792
Katalogové číslo: 115738
Datum vydání normy: 1.8.2012
Přibližná hmotnost: 30 g (0.07 liber)
Země: Slovenská technická norma
Kategorie: Technické normy STN