Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 12: Skúšobné metódy tenkovrstvových materiálov na namáhanie ohýbaním s využitím rezonančnej vibrácie štruktúr MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.3.2012
Označení normy: STN EN 62047-12
Třídící znak: 358792
Katalogové číslo: 114772
Datum vydání normy: 1.3.2012
Přibližná hmotnost: 36 g (0.08 liber)
Země: Slovenská technická norma
Kategorie: Technické normy STN