Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 10: Tlaková skúška mikropodpier pre materiály MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
NORMA vydána dne 1.12.2011
Označení normy: STN EN 62047-10
Třídící znak: 358792
Katalogové číslo: 114467
Datum vydání normy: 1.12.2011
Přibližná hmotnost: 21 g (0.05 liber)
Země: Slovenská technická norma
Kategorie: Technické normy STN