Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO 25178-603:2025)
NORMA vydána dne 1.9.2025
Označení normy: ÖNORM EN ISO 25178-603
Datum vydání normy: 1.9.2025
Počet stran: 31
Přibližná hmotnost: 93 g (0.21 liber)
Země: Rakouská technická norma
Kategorie: Technické normy ÖNORM
Dieses Dokument beschreibt die Konstruktionsmerkmale und die messtechnischen Merkmale von Geräten für die phasenschiebende Interferometrie (PSI) zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopografie extrahiert werden können, sind die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilierungsmessungen anwendbar.