Ortsbewegliche Gasflaschen - Ventilanschlüsse für die Anwendung in der Mikroelektronik - Teil 1: Seitenanschlüsse (ISO 10692-1:2001)
NORMA vydána dne 1.8.2003
Označení normy: ÖNORM EN ISO 10692-1
Datum vydání normy: 1.8.2003
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Rakouská technická norma
Kategorie: Technické normy ÖNORM
Festgelegt sind die besonderen Anforderungen an Seitenanschlüsse von Gasflaschenventilen für Gase und Gasgemische hinsichtlich Reinheitsgrad und Partikelfreiheit bei der Herstellung von Komponenten für die Mikroelektronik. Weiters sind Bestimmungen hinsichtlich Leckraten für den Betrieb enthalten.