
Surface chemical analysis-Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
NORMA vydána dne 20.1.2026
Označení normy: JIS K0148:2026
Datum vydání normy: 20.1.2026
Počet stran: 28
Přibližná hmotnost: 84 g (0.19 liber)
Země: Ostatní normy
Kategorie: Technické normy JIS