Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
NORMA vydána dne 22.8.2011
Označení normy: JIS C5630-6:2011
Datum vydání normy: 22.8.2011
Počet stran: 12
Přibližná hmotnost: 36 g (0.08 liber)
Země: Ostatní normy
Kategorie: Technické normy JIS