
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices -- Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
NORMA vydána dne 23.3.2020
Označení normy: JIS C5630-30:2020
Datum vydání normy: 23.3.2020
Počet stran: 16
Přibližná hmotnost: 48 g (0.11 liber)
Země: Ostatní normy
Kategorie: Technické normy JIS