
Semiconductor devices -- Micro-electromechanical devices-- Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
NORMA vydána dne 20.3.2009
Označení normy: JIS C5630-3:2009
Datum vydání normy: 20.3.2009
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Ostatní normy
Kategorie: Technické normy JIS